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　而氫氣作為半導體制造中的氣源，在半導體材料及器件制備中起到-的作用�？稍诠怆娖骷�、傳感器、ic制造中應用。

　　目前半導體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長、干法刻蝕等工藝。氫氣發(fā)生器

　　退火是通過高溫加熱釋放材料內(nèi)部應力從而-材料的一種材料處理辦法，氫氣作為保護氣可以起到防止氧化等作用，多用于薄膜生長后釋放應力。

　　　氫氣在等離子體刻蝕(rie/icp)中作為反應氣體出現(xiàn)，等離子體刻蝕原理是利用反應氣體離化后與材料發(fā)生反應生成揮發(fā)性物質(zhì)，從而實現(xiàn)材料圖形化，是半導體器件制備的-工藝。氫氣發(fā)生器

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氫氣發(fā)生器由電解池、純水箱、氫/水分離器、收集器、干燥器、傳感器、壓力調(diào)節(jié)閥、開關(guān)電源等部件組成。整機設(shè)計-，4s店氫氣發(fā)生器代理，-，自動化程度高，氫氣發(fā)生器銷售，產(chǎn)氫純度高，輸出流量大，型號、規(guī)格齊全。廣泛應用于化工、、石油、造紙、電力、食品、制藥、科研等領(lǐng)域。詳細的氫氣發(fā)生器自檢方法分8個步驟： 氫氣發(fā)生器