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凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì),工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、-性、經(jīng)濟(jì)性。設(shè)計(jì)合理的空間面積應(yīng)考慮到設(shè)備操作、維修的需要。生產(chǎn)區(qū)和儲存區(qū)應(yīng)有與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)的空間面積,用以安置設(shè)備、物料,合肥凈化車間,便于操作和維修。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。
潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,-凈化車間,應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。凈化工程的等級劃分比較的嚴(yán)格,一般按照7個等級進(jìn)行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化車間工程,凈化安全要求是根據(jù)等級來實(shí)施的,凈化工程等級數(shù)越小,級別是越高的,其含塵量越少,-是-的。
排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計(jì)時,要根據(jù)實(shí)際情況選擇。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來對潔凈度的要求高。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間
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