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廣州帕納光電科技有限公司--varian tv301分子泵維修中心;
1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱,半邊冷的現(xiàn)象?
原因:附近有光照或其他熱源
解決方法:避免光照或熱源
2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑,請問油為什么發(fā)黑?或者多長時間油才會變黑?
原因:冷卻-,varian tv301分子泵維修中心,負載太大
解決方法:檢查冷卻系統(tǒng),檢查真空系統(tǒng)
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振動頻率為60%-工作轉(zhuǎn)速,或者是密封間隙過大,護圈松動,密封磨損
處理方法:檢查、調(diào)整或更換密封;
振動頻率為2倍工作轉(zhuǎn)速,不對中,聯(lián)軸器松動,密封裝置摩擦,殼體變形,軸承損壞,支承共振,推力軸承損壞,軸彎曲,-的配合
處理方法:檢查,采取相應措施,修理、調(diào)整或更換;
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開發(fā)過程中,其驗證流程的嚴格程度遠-出了行業(yè)標準。執(zhí)行的每一個步驟均經(jīng)過仔細測試,包括壽命測試,沖擊測試,抗振動測試,包裝測試,溫度測試,傅立葉振動分析,噪音測試等。我們對多種不同設(shè)計生產(chǎn)了樣泵并進行了測試,這并不局限于幾個樣品。我們?yōu)榇藢iT制造的樣泵多達1000 余臺,對各項結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進行了廣泛測試和分析。在終產(chǎn)品定型時,僅選用了結(jié)果的結(jié)構(gòu)和方案;
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抽速是分子泵的-參數(shù),提高轉(zhuǎn)速是加大抽速為直接的方法之一,隨著動平衡技術(shù)的發(fā)展,分子泵轉(zhuǎn)子可順利地在轉(zhuǎn)速下穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。隨著材料科學的發(fā)展,分子泵轉(zhuǎn)子材料也發(fā)生了變化,可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料制成,這使轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速得到進一步提高。除此之外,近些年還出現(xiàn)了多種新型分子泵,如可有效抽取水分子的低溫型分子泵,可在強磁場、強腐蝕條件下工作的陶瓷分子泵,以及可實現(xiàn)無接觸支撐、、高壽命的磁懸浮分子泵等。
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這種分子泵的維護可具體分為:1)牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子碰撞以獲得動量,并被驅(qū)動到泵出口。 2)渦輪分子泵通過與高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和固定的固定葉片配合實現(xiàn)抽氣。 這樣的泵通常以分子流動狀態(tài)運行。 3)復合分子泵它是由兩個渦輪泵和牽引泵串聯(lián)而成的復合分子真空泵。
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渦輪分子泵也是一種機械式真空泵,通過高速旋轉(zhuǎn)的多級渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進行抽氣的,在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生-的壓縮比,從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵-真空比擴散泵高,可達10^-8pa。正常工作時需要一定的前級真空度,其真空度高低視泵不同略有差異,一般在1-200pa之間,可采用機械泵作為前級泵,高真空機組是由分子泵和機械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速高,通常用中頻電機帶動,中頻電源的頻率在300-400hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。
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