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真空泵油的性能要求
潤滑。摩擦面的摩擦磨損、表面疲勞磨損以及腐蝕磨損等都與潤滑條件有關(guān)。表現(xiàn)佳的真空油有利于抑制腐蝕磨損;可以有效地減輕黏著磨損和表面疲勞磨損;流體潤滑劑對摩擦-有清洗作用,也可減輕摩擦磨損。降低摩擦阻力以節(jié)約能源,減少磨損,以延長機(jī)械壽命。
降溫冷卻。降低摩擦面的溫度是潤滑的一個重要作用。摩擦面運動時必訓(xùn)克服摩擦力而做功,消耗在克服摩擦力上的功全部轉(zhuǎn)化為熱量,其結(jié)果將引起摩擦面溫度上升,摩擦熱的大小與潤滑狀態(tài)有關(guān),黏度高的熱量很大,黏度低的熱量很小,而邊界摩擦的熱量則介于兩者之間。由此可見,用合適黏度的真空油不僅可以實現(xiàn)液體潤滑,減少摩擦熱的產(chǎn)生,而且還可以將摩擦熱及時地帶出泵體外。
對于普通的無油真空系統(tǒng)愛發(fā)科真空泵油來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹
愛發(fā)科真空泵油的應(yīng)用是廣泛的,愛德華ul15真空泵油,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
愛德華真空泵在進(jìn)行使用的情況下-樞紐的一點,那便是在愛德華真空泵進(jìn)行使用的情況下應(yīng)當(dāng)防止有一些沙粒等進(jìn) 入到機(jī)器設(shè)備中,但是在進(jìn)行使用的情況下在-一些設(shè)備中不可避免會進(jìn)入到一些機(jī)器設(shè)備中,所以當(dāng)機(jī)器設(shè)備中進(jìn)入了沙粒之后應(yīng)當(dāng)怎么處理呢。以為機(jī)器設(shè)備在使用時不答應(yīng)帶雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)腔,以為在內(nèi)腔內(nèi)有液體運轉(zhuǎn)過程可能會堵塞葉輪不能旋轉(zhuǎn),因此造成機(jī)器設(shè)備在運轉(zhuǎn)中損壞。甚至一些硬度較高的砂粒會對機(jī)械設(shè)備的葉輪造成損傷,因此機(jī)械設(shè)備在運轉(zhuǎn)中不具備優(yōu)良的真空機(jī)能,因此影響出產(chǎn)效率。
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