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現(xiàn)在行業(yè)中通用的測量方法基本是手動進行的,其劣勢在于手動測試受人為因素 (用力的大小,金蒸發(fā)鍍靶材多少錢,接觸面積等)影響較大,手動測試無法實現(xiàn)同一被測物目標的多次數(shù)值的重現(xiàn),手動測試時只能達到每次測試出來一個數(shù)值,無法做產(chǎn)品的分析。另外一般的電阻測量儀器受溫度和濕度的影響較大,金蒸發(fā)鍍靶材生產(chǎn)加工,無法測量,導(dǎo)致不能得出的數(shù)值,從而不能-廣品的品質(zhì)。







平面顯示器(fpd)這些年來大幅沖擊以陰極射線管(crt)為主的電腦顯示器及電視機市場,亦將帶動ito靶材的技術(shù)與市場需求。如今的ito靶材有兩種.一種是采用納米狀態(tài)的氧化銦混合后燒結(jié),一種是采用銦錫合金靶材。銦錫臺金靶材可以采用直流反應(yīng)濺射制造ito薄膜,但是靶表面會氧化而影響濺射率,并且不易得到大尺寸的臺金靶材。如今一般采取方法生產(chǎn)ito靶材,金蒸發(fā)鍍靶材誰家好,利用l}irf反應(yīng)濺射鍍膜.它具有沉積速度快.且能控制膜厚,電導(dǎo)率高,薄膜的一致性好,與基板的附著力強等優(yōu)點。

工業(yè)上大量使用的是工業(yè)純稀土金屬,較高純度的稀土金屬主要供測定物理化學(xué)性能之用。主要有四種提純方法在試驗室中使用,即真空熔融,真空蒸餾或升華,電遷移和區(qū)域熔煉。 稀土金屬棒在區(qū)域熔煉爐中以很慢的速度(如提純釔時為0.4毫米/分),云南金蒸發(fā)鍍靶材,進行多次區(qū)熔,對去除鐵、鋁、鎂、銅、鎳等金屬雜質(zhì)有,但對氧、氮、碳、氫無效。此外,電解精煉、區(qū)熔-電遷移聯(lián)-提純稀土也有一定效果。

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