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¥來(lái)電咨詢(xún)
2021-5-23
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日本愛(ài)發(fā)科干泵pdr-090cln真空泵維修:愛(ài)發(fā)科pdr-090cln干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運(yùn)行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,所以泵能提供-的安全性。
泵-現(xiàn)象及原因分析
1、-現(xiàn)象:真空泵運(yùn)行過(guò)載報(bào)警。
2、原因分析:
經(jīng)對(duì)真空泵進(jìn)行拆解, 發(fā)現(xiàn)以下幾個(gè)問(wèn)題點(diǎn):
-現(xiàn)象 原因分析
(1)轉(zhuǎn)子軸套部磨損:
因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。
(2)泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳:
因泵軸承損壞,轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫,齒輪潤(rùn)滑油因高溫氧化積碳。
(3)軸承磨損:
因軸承潤(rùn)滑脂失效,軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。
真空泵油干式螺桿水環(huán)式真空泵損壞因素分析
水環(huán)式真空泵螺桿泵轉(zhuǎn)子外表銹蝕緣由剖析真空泵進(jìn)料介質(zhì)含、水,與水結(jié)合生成-酸,-酸對(duì)金屬有腐蝕作用,-了避免轉(zhuǎn)子、泵腔腐蝕,在轉(zhuǎn)子和泵腔外表涂特氟龍圖層。水環(huán)式真空泵轉(zhuǎn)子及泵腔呈現(xiàn)腐蝕闡明圖層毀壞,-酸曾經(jīng)腐蝕到泵腔。轉(zhuǎn)子及泵腔特氟龍圖層毀壞緣由剖析轉(zhuǎn)子及泵腔外表圖層毀壞緣由能夠有三:一是有固體顆粒進(jìn)入泵腔,固體顆粒形成涂層毀壞。是有化學(xué)物質(zhì)在泵腔和轉(zhuǎn)子上構(gòu)成膠質(zhì),膠質(zhì)碳化變硬,毀壞轉(zhuǎn)子及泵腔涂層。
水環(huán)式真空泵的汽蝕也是眾所周知的,對(duì)真空泵的破壞是一種日積月累的過(guò)程,容易造成葉輪穿孔,氣蝕現(xiàn)象是一種經(jīng)常在水力機(jī)械中發(fā)生的高噪聲和破壞性很厲害的現(xiàn)象,為什么真空泵會(huì)產(chǎn)生氣蝕現(xiàn)象?
水環(huán)式真空泵的發(fā)生原理是:由于液體動(dòng)力作用,當(dāng)運(yùn)動(dòng)液體的局部壓力降低到該溫度下的汽化壓力時(shí),液體就開(kāi)始汽化而形成汽泡,汽泡中充滿(mǎn)了液體的蒸汽及少量溶解于液體中的氣體。當(dāng)汽泡隨著運(yùn)動(dòng)液體到達(dá)靜壓超過(guò)臨界壓力的區(qū)域時(shí),汽泡中的蒸汽又突然凝結(jié)而使汽泡破滅。因?yàn)槠葜械膲毫κ冀K低于或近于臨界值,而外面液體的壓力相對(duì)而言卻很大,愛(ài)發(fā)科vdn301油旋片真空泵維修,所以汽泡破滅時(shí),周?chē)后w以-的速度向汽泡中心沖去而形成高頻水錘作用,產(chǎn)生-的局部應(yīng)力和局部溫度升高,并產(chǎn)生噪聲和振動(dòng)。這種汽泡的產(chǎn)生和破滅過(guò)程反復(fù)進(jìn)行就會(huì)對(duì)這一區(qū)域的零件表面產(chǎn)生破壞作用,再加上液體與零件材料的化學(xué)和電化學(xué)腐蝕作用,終造成具有海綿狀或蜂窩狀特征的汽蝕損壞。
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