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隧道式烘箱溫度如何驗(yàn)證及案例

溫度驗(yàn)證設(shè)備：隧道式烘箱

　　驗(yàn)證儀器選用：

　　1、inon研工溫度驗(yàn)證儀一臺(tái)(inon研工溫度驗(yàn)證儀可進(jìn)行溫度前校準(zhǔn)和后校驗(yàn)，-驗(yàn)證的完整性與可追溯性，溫度數(shù)據(jù)報(bào)告分析詳細(xì)，溫度與fh值大小比較與總結(jié)直觀，能-提供給客戶溫度信息)

　　2、 美國fluke 9172干式計(jì)量爐(校準(zhǔn)溫度驗(yàn)證儀探頭的裝置)

　　3、 pt100型熱電阻干熱探頭(inon研工溫度驗(yàn)證系統(tǒng)中的干熱溫度探頭采用德國進(jìn)口pt100薄膜鉑電阻，精度等級1/3b級(高于a的正負(fù)0.15度)，經(jīng)過校準(zhǔn)可達(dá)到正負(fù)0.1度，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于-生產(chǎn)驗(yàn)證指南正負(fù)0.5度的要求。)

　　4、干熱探頭支架

退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計(jì)的�？梢约訜峋�片以摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)�摻雜劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

當(dāng)溫度做到設(shè)定值時(shí)，溫控儀輸出pid控制信號(hào)plc，plc輸出控制信號(hào)給時(shí)間繼電器kt，使其剛開始保溫記時(shí)，另外，封閉式進(jìn)風(fēng)機(jī)和排風(fēng)系統(tǒng)碟閥。根據(jù)pid控制電加熱持續(xù)開閉，箱體處在暖風(fēng)循溫殺菌環(huán)節(jié)。當(dāng)保溫殺菌時(shí)間做到設(shè)定值時(shí)，鐵氟龍涂層固化爐，時(shí)間繼電器輸出信號(hào)給plc，plc輸出全封電加熱，打開水冷卻繼電器，使其吸合通斷，進(jìn)而箱體處在制冷減溫環(huán)節(jié)。當(dāng)箱里溫度降低≤40℃時(shí)，溫控儀輸出控制信號(hào)給plc，plc輸出封閉式暖風(fēng)循環(huán)風(fēng)機(jī)，干躁殺菌周期程序完畢。



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