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隧道式烘箱溫度如何驗證及案例
溫度驗證設(shè)備:隧道式烘箱
驗證儀器選用:
1、inon研工溫度驗證儀一臺(inon研工溫度驗證儀可進行溫度前校準和后校驗,-驗證的完整性與可追溯性,溫度數(shù)據(jù)報告分析詳細,溫度與fh值大小比較與總結(jié)直觀,能-提供給客戶溫度信息)
2、 美國fluke 9172干式計量爐(校準溫度驗證儀探頭的裝置)
3、 pt100型熱電阻干熱探頭(inon研工溫度驗證系統(tǒng)中的干熱溫度探頭采用德國進口pt100薄膜鉑電阻,精度等級1/3b級(高于a的正負0.15度),經(jīng)過校準可達到正負0.1度,遠遠高于-生產(chǎn)驗證指南正負0.5度的要求。)
4、干熱探頭支架
退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的?梢约訜峋該诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
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