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一個(gè)完整的無塵車間少不了凈化設(shè)備,那么無塵車間通常用到哪些凈化設(shè)備呢?
一)凈化無塵車間工程進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)要安裝:新風(fēng)過濾箱,中央凈化空調(diào)(中央凈化空調(diào)要分為初效/中效/高1效三個(gè)過濾段)末端有高1效送風(fēng)口。有-時(shí)還裝有凈化增壓箱;
二)無塵車間回風(fēng)系統(tǒng)要安裝:回風(fēng)口,過濾初效器,中效回風(fēng)箱;
三)進(jìn)入無塵車間之前-入緩沖區(qū),緩沖區(qū)門安裝電子互鎖,更衣處放置潔凈儲(chǔ)衣柜空氣清新機(jī);
四)人和貨物進(jìn)入無塵凈化車間須經(jīng)過風(fēng)淋室,貨淋室,傳遞窗主要傳遞小物品;
五)在無塵凈化車間內(nèi)局部需要達(dá)到10-1000級(jí)地方安裝垂直層流工作臺(tái),層流罩,潔凈室,潔凈棚(可移式凈化工作棚),自凈器。測(cè)無塵室潔凈度用,激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器;
六)無塵廠房要設(shè)計(jì)觀察窗方便參觀。
一、 了解空氣
空氣凈化 :去除空氣中的污染物質(zhì),使空氣潔凈的行為。
潔凈度 :潔凈環(huán)境內(nèi)單位體積空氣中含大于或等于某一粒徑的懸浮粒子的允許統(tǒng)計(jì)數(shù)。
潔凈室 (區(qū)):需要對(duì)塵粒及微生物含量進(jìn)行控制的房間(區(qū)域)。其建筑結(jié)構(gòu)、裝備及其作用均具有減少對(duì)該房間(區(qū)域)內(nèi)污染源的介入,產(chǎn)生和滯留的功能。
局部空氣凈化 :僅使室內(nèi)工作區(qū)域特定局部空間的空氣含懸浮粒子濃度達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度級(jí)別,這種方式稱局部空氣凈化。
單向流 :沿著平行流線,以一定流速、單一通路、單一方向流動(dòng)的氣流,曾被稱為層流。
非單向流 :具有多個(gè)通路循環(huán)特性或氣流方向不平行的,不滿足單向流定義的氣流,曾被稱為亂流。
潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù),一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問題,隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過濾器效率的提-,潔凈室報(bào)價(jià),對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的或參考值是否偏于保守,百級(jí)潔凈室,已有不少討論;ffu在應(yīng)用中人們-的噪音、損壞維修等問題已在實(shí)踐中得到解決,隨著ffu的不斷改進(jìn),對(duì)是否采用ffu回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)-:懸浮分子污染(amc)的控制在微電子及ic工業(yè)中已日益提到日程上來,受到關(guān)注。以下對(duì)這些問題的情況分別作歸納和分析。
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