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1級:塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當金屬塵埃落于集成電路上時,就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時,可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言-。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級潔凈度的要求,F(xiàn)在我們的經(jīng)濟科技在發(fā)展,同時帶動了社會各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個行業(yè)為例,在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢。凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無塵作業(yè)后,10萬級凈化車間,不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項目的。 也就是說,在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,合肥凈化車間,可以進行無塵操作。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在-集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間1級:主要應用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。
壓力差的維持依靠新風量,千級凈化車間,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程在設(shè)計時,工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,無塵凈化車間,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來對潔凈度的要求高。
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