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此方法適用于除去氧化膜或有機物。因為化學物質在硅片表面停留的時間比較短，對反應需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學試劑很少，對控制成本及環(huán)境保護有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點越來越-，安康除油清洗單工位旋轉噴淋清洗機，對實際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益-。

清洗的關鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導體對雜質含量越來越敏感，而半導體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質對芯片良率的影響，實際生產中不僅僅需要提高單次的清洗效率，除油清洗單工位旋轉噴淋清洗機廠家，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。

公司于2008年通過了iso9001管理體系和歐盟ce-，除油清洗單工位旋轉噴淋清洗機定制，先后與國外80多個合作，除油清洗單工位旋轉噴淋清洗機價格，并與航發(fā)、大眾、華為、小松機械、伊頓、沃德、長城、重汽、美利信、費斯托、中車、中航工業(yè)等企業(yè)達成長期戰(zhàn)略合作關系。

旋轉噴淋清洗機簡介

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工作原理:手動放入——泵浦增壓——集中10um過濾——噴淋在線清洗——回收——泵浦增壓——在線0.45um三級過濾——噴淋在線漂洗——風切干燥——加熱烘干——手動取出。

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1.設備特點

1.1本設備根據(jù)待洗零件種類多，數(shù)量少的特點，采用單工位式清洗、吹干的方式；

1.2零件經人工手推進入清洗腔室，布置在清洗腔室內的噴淋管對工件作大流量噴淋，覆蓋無盲區(qū)；

1.3清洗采用連續(xù)噴洗式，清洗沖刷力-。

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