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高純氣體(purified gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級純度的氣體。

高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氮，氫，-而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠�合物，純度�?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、-可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的-。

 高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無機(jī)高純氣體

烯烴類：

乙烯（c2h4）、（c3h6）、-烯（c3h4==）、1--（1-c4h8）、異-（i-c4h8)、反-2--（t-2-c4h8）、順-2--（c-2-c4h8）、1.2--（1.2-c4h6）、1.3--（1.3-c4h6）、（c2h3cl）等；

炔烴類：

（c2h2）、1--（1-c4h6）、2--（2-c4h6）、-（c3h4）、-（c4h4=≡）等；

其他：

二（c2h6o）、甲-（ch4s）、熏蒸劑（c2h4o-co2)等