-質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的-氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。
-質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理
逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高,-質(zhì)譜檢漏儀可達1000pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲-等優(yōu)點。
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(1)內(nèi)部的密封結構
當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2),電力環(huán)網(wǎng)柜真空箱檢漏系統(tǒng),位于隔熱板的上方:檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到-震動,此處容易造成密封膠開裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內(nèi)部結構緊湊,各密封結構間的距離很近,檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將-源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準確。噴吹時,要嚴格控制-源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。儀器的反應時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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1、高壓氮氣強度檢測真空箱內(nèi)進行,保護操作者安全
2、真空箱內(nèi)-氣本底抑零,-了檢漏的準確性、。
3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序,可隨時校準檢漏儀的靈敏度、準確度。
4、特殊設計的檢測程序判斷出具體的有漏工件,并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。
5、技術的密封接頭,減少誤判。
6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能,-了系統(tǒng)的操作安全及-運行。
7、plc控制,使系統(tǒng)運行清晰明了,實現(xiàn)了實時監(jiān)測及控制。
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