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掩膜版是對勻膠鉻版經(jīng)過光繪加工后的產(chǎn)品。勻膠鉻版(光掩膜基版)由玻璃基板、鉻層、氧化鉻層和光刻膠層構(gòu)成的。通過光刻制版工藝,將微米級和納米級的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。
根據(jù)基板材質(zhì)的不同主要可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時所常用的光刻掩膜版。
公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
烤版時還要注意:烤版箱內(nèi)的紅外燈管一定要橫向排列,如縱向排列,往往導(dǎo)致印版瓦楞狀變形而影響使用。烤版膠濃度要合適,如烤版膠太稠,烤版效果和上墨效果也不會令人滿意;如烤版膠太稀,烤出的版容易上臟?景鏈囟炔荒苓^高,溫度過高也會導(dǎo)致鋁版基韌化和發(fā)軟,樹脂層焦化,影響耐印力?景鏁r間太長易導(dǎo)致印版上臟,烤版時間太短達(dá)不到烤版的效果?瓷先ブ瓢婀に嚥皇翘珡(fù)雜,但要想制作出合格的印版,掩膜版,確實需要操作人員用心曬版,用心加工印版。
公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
通過金屬化過程,在硅襯底上布置一層僅數(shù)納米厚的金屬層。然后在這層金屬上覆上一層光刻膠。這層光阻劑在-(一般是紫外線)后可以被特定溶液(顯影液)溶解。使特定的光波穿過光掩膜照射在光刻膠上,可以對光刻膠進行選擇性照射(-)。然后使用前面提到的顯影液,溶解掉被照射的區(qū)域,這樣,光掩模上的圖形就呈現(xiàn)在光刻膠上。通常還將通過烘干措施,-剩余部分光刻膠的一些性質(zhì)。
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