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不同用途的炭和石墨制品所要求的性能指標(biāo)也不相同。但一般都希望制品有足夠的體密度。當(dāng)然有的制品對體密度沒有特殊要求也有的要求體密度越低越好。

用于-的減速劑石墨。體密度是重要的指標(biāo)之一。因為中子的慢化主要是中子和減速劑原子間彈性碰撞時發(fā)生的能量傳遞而引起的。對于一種有效的減速材料單位體積的碰撞率必須是相當(dāng)高，而通脹率與單位體積的減速機(jī)和數(shù)成正比，所以要減小-芯體積，簡述-沒得體面度不宜過低。例如把體力重1.65增加到2.00克/立方厘米。則石墨體積可減少20%。

石墨制品用做結(jié)構(gòu)材料和不透性材料時，其制品須有相當(dāng)高的體密度。

石墨制品的體密度對其電導(dǎo)率、熱導(dǎo)率、機(jī)械強(qiáng)度、扛氧化性都有著直接影響。此外體密度也使制品的滲透性能潤滑和抗磨性能發(fā)生改變。

五金零件的精度幾乎決定了產(chǎn)品的，越是精密的五金零件其精度要求也會越高，石墨零件，那么精密五金零件加工精度為什么會變差呢？下面讓我們一起來了解一下。

一個因素是零件本身的加工精度差，石墨零件生產(chǎn)，一般來說如果在安裝的時候，軸間的動態(tài)誤差沒有調(diào)整好，亦或者是因為軸傳動鏈因為磨損產(chǎn)生變化都會影響零件的精度。一般來說這種類型的誤差導(dǎo)致的精度篇查可以重新調(diào)整補(bǔ)償量解決。而誤差如果太大甚至如果產(chǎn)生報警的話，石墨零件，有-對伺服電機(jī)進(jìn)行檢查，石墨零件設(shè)計，觀察其轉(zhuǎn)速是否過高。

石墨舟推舟系統(tǒng)：石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后，石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出，自動門關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計，在x軸、y軸、z軸三個方向可微調(diào)，再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)，所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的-部件。管式pecvd系統(tǒng)：即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟-石英管中進(jìn)行沉積。

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