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無(wú)塵室,也稱(chēng)潔凈室,是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境,光伏無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室,這里所指的污染來(lái)源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個(gè)潔凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別,無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室,污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用1大顆粒大小來(lái)厘定的。低級(jí)別的潔凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)消毒的(如沒(méi)有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。
無(wú)塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱(chēng)之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染-敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),食品無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室,才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
無(wú)塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡(jiǎn)單介紹潔凈室的處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過(guò)濾微塵并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間,將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤(pán)管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過(guò)循環(huán)風(fēng)扇或ffu帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過(guò)超過(guò)濾網(wǎng)或過(guò)濾后,供應(yīng)至fab區(qū)。
為您提供潔凈室測(cè)試需要滿足哪些條件: 1.潔凈室內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng),受污染空氣的流動(dòng)達(dá)到1低程度,空氣在門(mén)口處和室內(nèi)建筑中的流動(dòng)方向正確。 2.潔凈室的送風(fēng)量充足,-稀釋或消除室內(nèi)產(chǎn)生的污染。 3.室內(nèi)空氣的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)可-密室內(nèi)沒(méi)有高濃度-區(qū)域。 4.潔凈室的送風(fēng)不會(huì)-增加室內(nèi)的污染。 潔凈室測(cè)試步驟: 1.各區(qū)之間的氣流控制: (1)各區(qū)間的壓差正確; (2)門(mén)口處或墻、地板等處的開(kāi)口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)。 2.送風(fēng)量與排風(fēng)量: 如果是紊流潔凈室,那么就要測(cè)量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測(cè)量其風(fēng)速。 3.隔離檢漏: 這項(xiàng)測(cè)試是為了證明懸浮污染物-過(guò)建筑材料侵入潔凈室。 4.過(guò)濾器檢漏: (1)損壞了的過(guò)濾器; (2)過(guò)濾器與其外框間的縫隙; (3)過(guò)濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。 5.室內(nèi)氣流控制: 氣流控制測(cè)試的類(lèi)型要依潔凈室的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若潔凈室氣流為紊流,則必須驗(yàn)明室內(nèi)沒(méi)有氣流運(yùn)行不足的區(qū)域。若是單向流潔凈室,則必須驗(yàn)明整個(gè)室內(nèi)的風(fēng)速和風(fēng)向是符合設(shè)計(jì)要求的。
加強(qiáng)并落實(shí)建筑和設(shè)備的隔熱保溫措施。這里包括潔凈室的墻體、地面、吊頂(或屋面)、門(mén)窗的構(gòu)造、材質(zhì)的選擇等是否滿足隔熱保溫要求,醫(yī)藥無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室,能否-地-潔凈室內(nèi)的溫度、相對(duì)濕度要求并盡可能降低熱(冷)損失;加強(qiáng)潔凈室內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備的隔熱保溫措施,盡量減少排熱量;加強(qiáng)各類(lèi)風(fēng)管、水氣管道的隔熱保溫措施,降低熱量,減少能量消耗。
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