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分子泵分類：
1)牽引繩分子泵氣體分子式與髙速運動健身的轉子相碰撞而獲得角動量，被驅送至泵的進出口。
2)渦輪增壓器分子泵靠高速運行的動葉片和原地不動的定葉片相互配合來進行真空包裝的。
3)復合性分子泵它是由渦輪增壓器式和走動式二種分子泵連接起來構成起來的一種復合型的分子式真空泵。agilent tv301分子泵
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分子泵的排汽管速度=吸氣側張嘴占地面積×11.6×a/b.p式中 p——氣體壓強的上升值。
葉片的角度大，則排汽管速度大，柴油發(fā)動機發(fā)動機壓縮比小。葉片的角度小，則排汽管速度小，柴油發(fā)動機發(fā)動機壓縮比大。分子泵的排汽管速度絕大多數(shù)不容易遭受氣體種類的傷害，泵的-氣體壓強做到10-8pa，但是對輕分子式/分子結構，排汽管速度會出現(xiàn)一定的降低。agilent tv301分子泵
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檢查滾珠軸承，如內外套磨損、曠動、滾珠磨損或表面有斑點都要更換。尚可使用的用或-將軸承清洗干凈后涂黃油保存。
檢查葉輪上是否有裂痕或小孔，葉輪固定螺母是否松動，如有損壞應修理或更換。檢查葉輪減磨環(huán)處間隙，如超過規(guī)定值，應修理或更換。若水泵和管道都不拆卸時，應用蓋板將出口封好，以防雜物進入。
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磁場屏蔽出現(xiàn)的問題
旋轉的轉子在磁場中產(chǎn)生渦電流，將使轉子-，將產(chǎn)生如下問題：
、轉子與定子間隙越來越小，造成碎片；
、轉子溫升過大造成磁性電機轉子退磁；
、由于-會減弱鋁材料的強度，造成碎泵；
、轉子-，改變轉子和軸的相對位置，造成碎泵。
分子泵在磁場中運轉時，徑向和軸向磁場強度均不得大于30gs。原則上，agilent tv301分子泵，大于30gs應使用導磁材料屏蔽。
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離子注入機器設備
離子注入是用有機化學或物理方法有選擇從硅單晶表層除去不用原材料的全過程。離子注入的基礎總體目標是在點膠的硅單晶上恰當?shù)乜截愌谀D型。智能化的干法刻蝕機器設備包含繁雜的機械設備、電氣設備和真空設備，另外裝有自動化技術的離子注入終點站檢驗和-設備。離子注入運用工作狀況繁雜，清理能力差，充進高純氣體類型多種多樣，因而必須-解決的干泵和磁懸浮分子泵。agilent tv301分子泵
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離子注入機器設備
離子注入機器設備：離子注入就是指在真空下，當電子束射向固態(tài)原材料時，遭受固態(tài)原材料的抵御而速率漸漸地降低出來，并后滯留在固態(tài)原材料中的狀況。離子注入是半導體材料表層周邊地區(qū)開展夾雜的關鍵技術性，其目地是更改半導體材料的載流子濃度值和導電性種類。離子注入機是集成電路芯片生產(chǎn)制造工藝流程中的主要設備，必須高清理的真空，以-正離子夾雜濃度值和使用量的性。agilent tv301分子泵
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