科儀---真空-sf6充氣柜真空箱測漏系統(tǒng)-測漏系統(tǒng)

-質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展，-質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的-質(zhì)譜檢涮儀，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新-質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn)，-質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等-方向發(fā)展，這些特點(diǎn)-地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求，也-的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。-質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)-質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機(jī)分析器所選定的-離子流并加以放大，再通過比對運(yùn)算，電力中高壓電力環(huán)網(wǎng)柜真空箱測漏系統(tǒng)，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和-氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的-質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，-氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

以上內(nèi)容由科儀-為您提供服務(wù)，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。

-質(zhì)譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法

-質(zhì)譜檢漏儀原理的-質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：

1.檢測時間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；

2.檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.不會受到主觀因素判斷的影響；

4.檢測的數(shù)據(jù)-；

5.自動生成數(shù)據(jù)保存，測漏系統(tǒng)，可追溯數(shù)據(jù)來源。

-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面：

（1）便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可-數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)-峰，自動調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的-，sf6充氣柜真空箱測漏系統(tǒng)，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，范圍很寬，不僅可檢測-氣，六-硫充氣柜真空箱測漏系統(tǒng)，而且能檢測其它氣體。

-質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。-質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。

科儀-擁有-的技術(shù)，我們都以為本，信譽(yù)高，我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對-檢漏感興趣，歡迎-左右兩側(cè)的在線，或撥打咨詢電話。

-質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法

-質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo)，通過實(shí)驗(yàn)，總結(jié)通過-質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準(zhǔn)的方法。

-質(zhì)譜檢漏儀原理:

-質(zhì)譜檢漏儀是一種以-氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

-質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

-質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)，本文主要討論這種情況下-漏率的校準(zhǔn)方法。

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科儀-真空(圖)-sf6充氣柜真空箱測漏系統(tǒng)-測漏系統(tǒng)由北京科儀-真空技術(shù)有限公司提供。北京科儀-真空技術(shù)有限公司位于北京市昌平區(qū)南口鎮(zhèn)。在市場經(jīng)濟(jì)的浪潮中拼博和發(fā)展，目前科儀-真空在行業(yè)-設(shè)備中享有-的聲譽(yù)�？苾x-真空取得商盟，我們的服務(wù)和管理水平也達(dá)到了一個新的高度�？苾x-真空全體員工愿與各界有識之士共同發(fā)展，共創(chuàng)美好未來。

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