-外實踐證明,大功率電子槍是鋼帶連續(xù)真空鍍膜工藝的理想熱源。這是因為
(1)電子槍發(fā)射的電子束經(jīng)-后可達到-的能量密度,轟擊坩堝鍍膜材料,化學(xué)氣相沉積加工,可使其溫度達到3000℃以上,遠比電弧溫度高。
(2)電子束能量轉(zhuǎn)化率-80%-90%,采用磁偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)可以方便地進行電子束-和掃描,加熱均勻。
(3)電子束只轟擊鍍膜材料表面,化學(xué)氣相沉積,不會由于其它材料的摻入而引起夾雜問題。
(4)電子槍蒸發(fā)鍍膜機使用時的束斑直徑、電功率、加束電壓、掃描軌跡、頻率等參數(shù)都容易實現(xiàn)調(diào)節(jié)。
(5)使用電子槍還可以在鋼帶鍍膜生產(chǎn)過程中對被鍍鋼帶進行真空預(yù)熱,就是使用電子槍清潔鋼帶,轟擊表面使其活化。通過電子束-的掃描,鋼帶表面溫度控制在200~550℃,石墨烯化學(xué)氣相沉積,這種預(yù)熱是鋼帶鍍膜和提高鍍膜附著力所必須的。
parylene涂層不僅有優(yōu)異的介電性能、低的介質(zhì)損耗和高的介電強度,同時具有優(yōu)良的機械性能和耐輻射性能。parylene如此高的介電強度主要歸功于parylene能形成連續(xù)無缺陷和無其它填充物的薄膜。parylene具有優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性和低溫性能,在幾乎不改變器件尺寸的情況下提供1.5kv,2.0kv 甚至更高的耐電壓擊穿性能。因此,parylene可用作微機電,微馬達的表面處理和絕緣體。使用高純度的parylene作鈍化層和介質(zhì)層,能提供安全、穩(wěn)定的防護。
實踐證明,多功能化學(xué)氣相沉積,電子束鋼帶真空鍍膜具有很多優(yōu)點:
(1)可選擇的鍍膜材料多而不受材料熔點-。能量密度-的電子束可以使鍍膜材在很短的時間達到3000℃~6000℃。因此,除了熱鍍鋅中常見的鍍鋅、鋁、錫之外,幾乎所有的金屬材料都可以蒸鍍,還可鍍種類眾多的金屬氮化膜,金屬氧化膜和金屬炭化物及各種復(fù)合膜。這為發(fā)展新型帶鋼材料提供了很大的自由度。
(2)鍍膜材料利用率高,環(huán)境污染小。真空鍍膜屬干式鍍膜,沒有有害液體、氣體的產(chǎn)生。
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