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相對(duì)濕度在35%-40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中,半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度,包含腐蝕的進(jìn)程,將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí),高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物,并阻止進(jìn)一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護(hù)才能的,凈化室定制,因而,在高濕度的環(huán)境中,銅制外表更容易遭到腐蝕。
凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施,無(wú)塵凈化室,使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。2.半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有-導(dǎo)電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然,福州凈化室,有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。3.對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應(yīng)有-的接地性能,這種措施-有效。
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