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凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用-氧化鋁型材。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在-集成電路生產(chǎn)的光刻-工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板,合肥凈化工程,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間-燈具。
濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,凈化工程車間,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì),工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工,還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、-性、經(jīng)濟(jì)性,F(xiàn)在我們的經(jīng)濟(jì)科技在發(fā)展,同時(shí)帶動(dòng)了社會(huì)各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個(gè)行業(yè)為例,在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢(shì)。
現(xiàn)在我們的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了,除了人士以外,其他人很少知道凈化工程的耗能量-大,時(shí)候普通寫字樓的20倍,比美國(guó)更發(fā)達(dá)高出了15%?吹竭@些令人心驚的數(shù)字,我們的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從-上出出發(fā),設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,實(shí)驗(yàn)室凈化工程,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院,?duì)產(chǎn)品將有污染,-是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇。
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