脈沖激光沉積系統(tǒng)特點及優(yōu)勢:
可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供-技術支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關手續(xù),激光脈沖沉積設備廠家, 交貨期短,-;
沈陽鵬程真空技術有限責任公司擁有-的技術,我們都以為本,激光脈沖沉積設備公司,信譽高,激光脈沖沉積設備,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務。如果您對脈沖激光沉積感興趣,激光脈沖沉積設備報價,歡迎-左右兩側的在線,或撥打咨詢電話。
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主要用途:
用于制備超導薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備!
系統(tǒng)組成:
主要由濺射真空室、旋轉靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。
離子輔助沉積 (ibad)系統(tǒng)介紹
離子輔助沉積已經(jīng)成為在無規(guī)取向的基片或無定形基片上沉積雙軸結構薄膜的一種重要技術。neocera 開發(fā)了離子輔助的pld 系統(tǒng),該系統(tǒng)將pld 在沉積復雜材料方面的優(yōu)勢與ibad 能力結合在一起。
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