化學氣相沉積加工-拉奇納米-中堂化學氣相沉積

粗抽泵：從-壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

　　(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。

只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接，它可以控制涂層的全過程。但(qcm)的準確性是有限的，化學氣相沉積加工，鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學厚度的涂層。

化學氣相沉積加工生產(chǎn)故障是每個化學氣相沉積企業(yè)都會遇到的問題，排除故障是化學氣相沉積-的重要職責�；瘜W氣相沉積實踐出真知，pvd鍍膜生產(chǎn)的實踐性很強。要在調(diào)控pvd鍍膜生產(chǎn)的全過程中做到遇障不驚，pvd鍍膜的途徑就是在生產(chǎn)實踐中摸爬滾打、堅韌實干善于思考，不斷探索和積累等。

真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，超聲波化學氣相沉積，直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進入鍍膜室-定要做到認真的鍍前清潔處理，中堂化學氣相沉積，表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物，為了避免加工過程中造成的-，真空鍍加工廠家基本上可采用去油或化學清冼方法將其去掉。

對經(jīng)過清洗處理的清潔表面，不能在-環(huán)境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。用剛 氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳氫化合物蒸氣的吸附減至小。因為這些容器優(yōu)先吸附碳氫化合物。真空鍍膜加工對于 高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面，一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。