流量控制器(mfc)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。mfc的工作壓差范圍通常為0.1~0.3mpa, 若壓差低于值(0.1 mpa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%f.s。用戶使用mfc時(shí), 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使mfc進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),氣體流量控制器廠家, 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
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(1) 流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì),熱式氣體流量控制器廠家,壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差;對(duì)于流量計(jì) / 流量控制器,流量控制器廠家,則一般可以忽略不計(jì)。
(2) 測(cè)量控制的自動(dòng)化
流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,氣體流量控制器廠家, 模擬的mfc/mfm輸入輸出信號(hào)為0~+5v或4~20ma, 數(shù)字式mfc/mfm還配有rs232或rs485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3) 地定量控制流量
流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等-有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10mpa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如hcl);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0~5 sccm,流量范圍可達(dá)0~200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要-注意三點(diǎn): 一, 是要選擇耐壓符合要求的mfc; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào); 三, 要在mfc氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在mfc下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和mfc出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要-mfc的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn), mfc就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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