真空箱---質(zhì)譜檢漏儀----質(zhì)譜檢漏儀-科儀---真空

真空箱法-質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點

真空箱法-質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統(tǒng)：-氣儲存罐(高壓罐)，-氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動控制型，冷凝器-質(zhì)譜檢漏儀，由面板、plc系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充-回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統(tǒng)的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。

2.系統(tǒng)檢測過程

1)、通過v1、v4，泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統(tǒng)關閉v1，打開v2

2)、充-系統(tǒng)通過v2對工件進行充-至核定的壓力，穩(wěn)定，關閉v2

3)、關閉v4，真空箱式-質(zhì)譜檢漏儀，打開v3、v5，處在正常工作狀態(tài)待命的-質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，-質(zhì)譜檢漏儀，電氣控制系統(tǒng)指揮關斷v3、v5，打開v2對-氣進行回收。

4)、關閉v2打開v6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內(nèi)的-氣回收，對真空箱和管道巾的-氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的-分流作用，不宜過大(不超過41)，清潔泵也同樣。

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-質(zhì)譜檢漏儀測量數(shù)據(jù)處理

漏率的溫度修正

標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ，所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔-中溫度不一致，需要將標準漏孔-中漏率和標準漏孔漏率的-質(zhì)譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:

方法一: 將標準漏孔-中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下，用標準漏孔-中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值；

方法二: 將標準漏孔漏率的-質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔-中環(huán)境溫度下，用標準漏孔漏率的-質(zhì)譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。