管道工程公司-珂銳弘揚(yáng)-吳江區(qū)管道工程

實(shí)驗(yàn)室氣路改造管道材質(zhì)及作用

　　高純度氣體管一般根據(jù)循環(huán)介質(zhì)的工藝要求由薄壁不銹鋼管制成。

　　主要有鉻、鎳和鉬合金元素。

　　a、鉻的存在提高了不銹鋼在氧化介質(zhì)中的耐腐蝕性，形成富鉻氧化膜;

　　b、鉬的存在提高了不銹鋼在非氧化介質(zhì)中的耐腐蝕性

　　c、鎳是奧氏體的形成元素，鎳的存在不僅提高了鋼的耐蝕性，而且-了鋼的工藝性能。

高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，管道工程價(jià)格，可燃性氣體區(qū)要-規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/s，可燃性氣體小于10ml/s，毒性/腐蝕性氣體小于8ml/s，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，管道工程性能，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。

3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4.管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，管道工程公司，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以-供氣系統(tǒng)的安全、-運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，吳江區(qū)管道工程，降低氣體純度。

5.對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

6.為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置-的連續(xù)檢測(cè)儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

7.在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了-末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端氣體過濾器。