一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發(fā)功率,速率
4. 真空度
5. 鍍膜時間,厚度大小
組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易-,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
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真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。
真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計主要考慮的就是密封性和-性,真空鍍膜系統(tǒng)價格,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進行的,材料對真空度的影響要小,設(shè)計不能馬虎,要注意一些問題。
使用磁控濺射的真空鍍膜機一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)上要-快速抽空,因氣袋會緩慢的放氣,因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴,真空系統(tǒng)上端會加裝磁控濺射槍,為了使真空室和元件有足夠的強度,四川真空鍍膜系統(tǒng),-在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化,真空鍍膜系統(tǒng)多少錢,厚度需要足夠。
焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序,-焊接之后的真空室不會產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象,須合理設(shè)計焊接結(jié)構(gòu),提高焊接,處在真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔,須-注意的是需做好防止生銹的措施。
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正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。另外,有的真空泵不能在-壓下工作,真空鍍膜系統(tǒng)生產(chǎn)廠家,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于-壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2bv系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmhg~25mmhg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmhg。因而,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmhg下長期工作。
真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的-真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度,選用的真空泵的-真空度至少要2mmhg,1好能達到1mmhg。通常選擇泵的-真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。
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