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流量控制器的工作壓差范圍通常比較小， 要在高壓條件下正常使用需要-注意三點: 一， 是要選擇耐壓符合要求的mfc; 二， 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 三， 要在mfc氣路前面加減壓閥， 穩(wěn)定入口氣壓， 在mfc下游加背壓閥， 穩(wěn)定反應(yīng)室和mfc出口的氣壓， 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥， 要-mfc的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點， mfc就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大， 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，精密氣體流量計， 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，精密氣體流量計規(guī)格，數(shù)字電壓表， 設(shè)定電位器， 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
熱式流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的流量。
當(dāng)流體成分確定時，流體的定壓比熱為已知常數(shù)。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現(xiàn)，所以實際應(yīng)用較多。這種流量計多用于較-體流量的測量。
為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內(nèi)部通過。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。當(dāng)用于大流量測量時，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴大量程范圍。
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