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流量控制器基本原理

通過(guò)測(cè)量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來(lái)計(jì)量氣體流量的。氣體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測(cè)，另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度，加熱器則通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體流量，即供給電流與氣體流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。

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流量控制器的原理是什么？

流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門(mén)和放大控制器等部分組成。流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見(jiàn)圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，熱式氣體流量控制器多少錢(qián)，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。氣體流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。

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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

流量控制器可以用于控制各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，熱式氣體流量控制器，需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí)，需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體，熱式氣體流量控制器價(jià)格，以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤，造成-損失。

通常氣體流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316l不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的mfc原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于-化硼等強(qiáng)腐蝕性氣體和mocvd使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的mfc。

由于金屬密封的mfc價(jià)格較高，通常要求不高的場(chǎng)合，均采用橡膠密封的mfc。如果不特殊聲明， mfc都采用氟橡膠密封，可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體，例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體，熱式氣體流量控制器，需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠，如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; -化硼等——需要采用-橡膠。

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