采用真空法檢漏時(shí),真空-質(zhì)譜檢漏儀定做,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,采用-罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施-氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),-氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進(jìn)入-質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空-罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹-氣,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位; 真空-罩法采用有一定密閉功能的-罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái),在罩內(nèi)充滿一定濃度的-氣,可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。
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1 內(nèi)部的泄漏
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴-法尋找漏點(diǎn),更換密封件。
2 本底信號(hào)不穩(wěn)定
1)本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有-氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開(kāi)通風(fēng),降低環(huán)境本底。
2)本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí),質(zhì)譜室極易被污染,需返廠進(jìn)行清洗,本底信號(hào)不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,檢漏儀應(yīng)有-的接地。
3)本底信號(hào)不穩(wěn)定,檢查泵油是否渾濁,被污染。
內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),-質(zhì)譜檢漏儀定做,會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見(jiàn)圖2),真空-質(zhì)譜檢漏儀定做,位于隔熱板的上方:檢漏儀測(cè)試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運(yùn)輸過(guò)程中如遇到-震動(dòng),此處容易造成密封膠開(kāi)裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時(shí),有可能會(huì)存在密封失效的問(wèn)題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
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