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一個真空系統(tǒng),經(jīng)相當(dāng)長時間抽氣之后,仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度,可能的原因有:抽氣情況-,即抽氣系統(tǒng)本身的問題。放氣,即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源。漏氣,即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問題,即準(zhǔn)確檢出漏孔并加以修補。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位,真空箱氫氣檢漏設(shè)備,以便修補堵漏。
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設(shè)備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的-檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便,檢測迅速等特點,是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,
其測量工作原理如下。-質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,用-氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設(shè)計時只讓-離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集-離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。
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檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè),用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì),從而達(dá)到檢測的目的。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在運轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。
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