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流量計，即mass flow meter（縮寫為mfm）， 是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。
流量控制器， 即mass flow controller（縮寫為mfc），流量控制器公司， 不但具有流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，mfc自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，流量控制器，也不會使其偏離設定值。簡單地說，流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置， 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩(wěn)定。一般流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。在alicat?，我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。
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流量控制器(mfc)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門，流量控制器， 閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程， 在工作的過程當中， 控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降， 即壓差。mfc的工作壓差范圍通常為0.1~0.3mpa， 若壓差低于值(0.1 mpa)， 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3mpa)， 有可能關閉時流量不能小于2%f.s。用戶使用mfc時， 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓， 應做到使mfc進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內， 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
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