念龍化工-長輸管道氮?dú)庵脫Q-管道氮?dú)庵脫Q

（1）性氣體

把自燃、、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的sih4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時，ph3與b2 h6等氣體也會產(chǎn)生自燃�？扇�?xì)怏w都有一定的著火燃燒范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起燃燒危險(xiǎn)性就越高，如b 2h6的上限為98%，下限為0.9%。屬于氣體有h 2，nh3，ph3，dcs，clf3 。

（2）毒性氣體（toxic gas）：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以ash3， b 2h6，ph3等氣體的毒性-大，它們的閾限值tlv（threshold limited valve）分別只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求-的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。no， c4f6，c5f8 ，nf3，ch 3f等都屬于毒性氣體。

（3）腐蝕性氣體（corrosive gas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性，如hcl， hf， pcl3， sif4，clf3，wf6等。

（4）惰性氣體(inert gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成事故。屬于這類的氣體有c2 f6，cf4，sf6，chf 3等。

（5）氧化性氣體（oxide gas）：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有clf3 ，cl2，管道氮?dú)庵脫Q方案，nf3等。

1 升壓過程中氮?dú)鉂舛葘χ脫Q安全性的影響

為提高管道置換氮?dú)獾陌踩�性，長輸管道氮?dú)庵脫Q，待氮?dú)庵脫Q完成

后，施工人員應(yīng)對管道進(jìn)行升壓，終完成氮?dú)庵脫Q的過程。在

此過程中，如管道發(fā)生泄露，導(dǎo)致管道中的氮?dú)鉂舛认陆�，容�?/p>

導(dǎo)致“窒息”等危險(xiǎn)發(fā)生。此外，如管道超壓，則可引發(fā)爆管。根

據(jù)<氮?dú)馐褂冒踩�管理�?guī)范>的要求，升壓的過程中，施工人員

需對氮?dú)鈱κ┕と藛T的危害、氮?dú)馀欧艆^(qū)域等因素進(jìn)行評估。

如未進(jìn)行評估便著手施工，因氮?dú)鉂舛炔缓侠硭鶎?dǎo)致的風(fēng)險(xiǎn)則

較容易發(fā)生。

3.2 升壓過程險(xiǎn)的預(yù)防

升壓過程中，施工人員應(yīng)加強(qiáng)防護(hù)，嚴(yán)格控制速度，提高風(fēng)

險(xiǎn)預(yù)防水平 ：(1) 加強(qiáng)防護(hù) ：施工人員應(yīng)穿戴好防護(hù)用品，-

氮?dú)鉂舛冗^高時，能過實(shí)現(xiàn)對自身安全的保護(hù)。(2) 控制速度 ：

為避免管道中的氮?dú)獍l(fā)生泄露，導(dǎo)致氮?dú)鉂舛冉档�，管道氮�(dú)庵脫Q，應(yīng)將置換

速度控制在3m/s 至6m/s 之間，減少安全-。(3) 加強(qiáng)-：施

工人員應(yīng)加強(qiáng)-，一旦發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)，需立即停止作業(yè)并予以處

理，-管道中的氮?dú)鉂舛冗_(dá)標(biāo)。

4 結(jié)語

綜上所述，管道置換氮?dú)獾倪^程中，氮?dú)怏w積占混

合氣體體積的比例應(yīng)＞98%。置換的過程中，施工人員應(yīng)穿戴

好防護(hù)用品，將注入速度控制在3 ～5m/s，將注氮溫度控制在

5 ～15℃。在此基礎(chǔ)上，加強(qiáng)-、清除明火，提高氮?dú)庾⑷氲?/p>

安全性，提高置換過程的安全性。