怕粉塵, 若粉塵進入流量計會堵塞傳感器和分流器,多晶爐流量計, 造成測量誤差, 要求在進氣口前加裝過濾器;
怕液體和油污進入mfc, 會造成失控, 如果mfc的出口接有液體罐, 需要在mfc出口加上單向閥, 防止液體回流;
怕使用潮濕的腐蝕性氣體,多晶爐流量計生產(chǎn)廠家, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成mfc通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和mfc管路系統(tǒng)進行干燥處理;
怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更-的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是重要的。
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通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加,冷卻效應越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體流量,即供給電流與氣體流量有一對應的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。
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流量計,即mass flow meter(縮寫為mfm), 是一種準確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。
流量控制器, 即mass flow controller(縮寫為mfc), 不但具有流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,多晶爐流量計計算,mfc自動地將流量恒定在設定值上,多晶爐流量計,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
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