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-質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法

-質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo)，通過實(shí)驗(yàn)，總結(jié)通過-質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準(zhǔn)的方法。

-質(zhì)譜檢漏儀原理:

-質(zhì)譜檢漏儀是一種以-氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

-質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

-質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，國產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀品牌，就可考慮直接通過-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)，本文主要討論這種情況下-漏率的校準(zhǔn)方法。

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-質(zhì)譜檢漏儀

-質(zhì)譜檢漏儀（helium mass spectrometerleakdetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用-氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測-氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。-氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，-系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，國產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀品牌，故常用-作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對-氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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-質(zhì)譜檢漏的成本控制

-氣的使用控制

板翅式換熱器的體積大，-質(zhì)譜檢漏儀品牌，焊縫長度大，-質(zhì)譜檢測時(shí)，需要大量的-氣。工業(yè)使用的高純-氣，其成本較高，一瓶達(dá)幾千元，如果使用高純-直接檢測其花費(fèi)的成本大。在進(jìn)行吸入法和鐘罩法時(shí)，采用-氣與氮?dú)獾幕旌蠚膺M(jìn)行檢測，能使-氣的使用成本下降70%-80%。

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