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-質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的-氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。
-質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理
逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高，國產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀價格，-質(zhì)譜檢漏儀可達1000pa（一般常規(guī)檢漏儀為0.05pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲-等優(yōu)點。
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1 內(nèi)部的泄漏
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴-法尋找漏點，更換密封件。
2 本底信號不穩(wěn)定
1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有-氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。
2）本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，國產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀定制，需返廠進行清洗，國產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀多少錢，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有-的接地。
3）本底信號不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。
-質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度p1 優(yōu)于200 pa 時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，-氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)p1降至20 pa 時，國產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 pa·m3/s。
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