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1、無塵車間內(nèi)的凈化設備要求定期進行清潔維護,清潔中所用的工具和清潔液體是否符合無塵車間使用的要求或是無塵車間-的。
2、無塵車間的潔凈度是-的,也是建造無塵車間的-所在,就是達到產(chǎn)品生產(chǎn)所需要的潔凈度,對使用者來講無塵車間的潔凈度是他們關心的焦點,而在運行中的無塵車間中1大的污染源是工作人員和進入無塵車間的物品,生產(chǎn)中產(chǎn)生的塵粒也是影響車間內(nèi)潔凈度的另一原因。
3、無塵車間內(nèi)的空氣換氣次數(shù)和空調(diào)凈化系統(tǒng)的送風量是維持無塵車間內(nèi)部正壓和潔凈度的主要內(nèi)因。
4、無塵車間內(nèi)的作業(yè)人員要嚴格按照無塵車間的操作要求來工作,無塵車間的門窗的密封要保持完好,人員和物品在進入無塵車間內(nèi)時都要進過風淋室和貨淋室或者是物品傳遞窗等,與生產(chǎn)無關的人員是嚴禁進入無塵車間的。
5、無塵車間應定期測試其內(nèi)部各項指標,手術室凈化工程,如潔凈度、送風口的風速、溫濕度、正壓等,根據(jù)測量的結果作出以后維護無塵車間的方案。
6、人員和物品的分流對維護無塵車間內(nèi)的潔凈度也有著重大的意義,工作人員在進入無塵車間前都是要經(jīng)過更衣室和風淋室吹淋的,更換潔凈服,在經(jīng)過凈化處理,-在進入無塵車間。而物品就要走物品的通道,大件的應使用貨淋室,小件的就從傳遞窗運進無塵車間。還有一些生產(chǎn)工藝要求對潔凈度較高的,人員在進入無塵車間前還要進行-,物品要更換包裝吹淋等工序的。
千級無塵車間在設計上要考慮到以下幾個問題:
1、維護性
對千級無塵車間而言,較嚴格要求的部分為地板、-,以及墻壁的部分。 至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維-都應有其優(yōu)先級。在應用力面、-、地板及墻壁三者之中1重要的為-,其包含hepa及 ulpa等濾網(wǎng),其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區(qū)域的小房間。
2、成本
微電子 c/r 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達到這市場。 許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 錢 將成為一個很重要的考慮因素。
3、適應性
一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢,而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致1-的損失。c/r 的擁有者和設計者的能力為改變一 c/r的關鍵,所以他們-將1初的設計定型。
4、耐久性
無塵車間要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 fabs 傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。
5、清洗
無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性1-或-的污染之特性。在凈化工程市場,清洗真正地是一個1重要的企業(yè)。
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