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熱壓法:ito靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,阜新純銀板材,同時以1000℃~1600℃進行燒結(jié)。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小,燒結(jié)溫度較低,燒結(jié)時間較短。但熱壓法生產(chǎn)的ito靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,從而影響了生產(chǎn)ito薄膜的均勻性,且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。







濺射技術(shù):濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一,它利用離子源產(chǎn)生的離子,純銀板材報價,在真空中經(jīng)過加速-,而形成高速度能的離子束流,純銀板材價格,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是制備濺射法沉積薄膜的原材料,純銀板材回收,稱為濺射靶材。各種類型的濺射薄膜材料無論在半導體集成電路、太陽能光伏、記錄介質(zhì)、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。

超純金屬的制備有化學提純法如精餾(-是金屬氯化物的精餾及氫還原)、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區(qū)熔提純等(見硅、鍺、鋁、銦)。其中以區(qū)熔提純或區(qū)熔提純與其他方法相 結(jié)合有效。

由于容器與藥劑中雜質(zhì)的污染,使得到的金屬純度受到一定的-,只有用化學方法將金屬提純到一定純度之后,再用物理方法如區(qū)熔提純,才能將金屬純度提到一個新的高度?梢杂冒雽w材料鍺及超純金屬鋁為例說明典型的超純金屬制備及檢測的原理(見區(qū)域熔煉)。
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