2015-2021年pecvd市場發(fā)展現(xiàn)狀及投資建議研究報告

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報告目錄
-章 pecvd產(chǎn)業(yè)概述 1
1.1 pecvd定義及原理 1
1.1.1 pecvd（plasma enhanced chemical vapor deposition）定義 1
1.1.2 pecvd(等離子體增強化學(xué)氣相沉積)原理 2
1.2 pecvd分類及應(yīng)用 3
1.3 pecvd產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu) 5
1.4 pecvd產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢 6

第二章 pecvd設(shè)備結(jié)構(gòu)與工藝流程 7
2.1 pecvd設(shè)備結(jié)構(gòu) 7
2.2 pecvd工藝流程 9

第三章 pecvd產(chǎn)、供、銷、需市場現(xiàn)狀和預(yù)測分析 12
3.1 pecvd生產(chǎn)、供應(yīng)量綜述 12
3.2 pecvd管式 板式市場份額 17
3.3 pecvd需求量及供需關(guān)系一覽 20
3.4 2014-2015全球及pecvd成本 價格 產(chǎn)值 利潤率一覽 21

第四章 國外pecvd-企業(yè)（14個）研究 22
4.1 centrotherm（德國）(管式pecvd) 22
4.2 roth-rau（德國）（平板式pecvd） 24
4.3 asmi（日本）(管式pecvd) 26
4.4 gebr.schmid（德國）(管式pecvd) 28
4.5 jonas & redmann（德國）(管式pecvd) 30
4.6 jusung（韓國）(管式pecvd,但主要產(chǎn)品是薄膜pecvd) 32
4.7 lpt（德國）(管式pecvd) 34
4.8 mvsystems（美國）(管式pecvd) 36
4.9 protemp（美國）(管式pecvd) 38
4.10 sfa（韓國）(管式pecvd) 40
4.11 singulus（德國）(管式pecvd，除晶硅外也有薄膜pecvd) 42
4.12 svcs（捷克）(管式pecvd) 43
4.13 tempress systems（荷蘭）(管式pecvd) 45
4.13 島津（日本）(平板式pecvd) 47

第五章 國內(nèi)pecvd-企業(yè)（8個）研究 49
5.1 北方微電子(平板式pecvd) 49
5.2 七星微電子(管式pecvd) 51
5.3 cetc48所(管式pecvd) 53
5.4 大族光伏(管式pecvd) 55
5.5 沈陽科儀(管式pecvd) 56
5.6 青島華旗(管式pecvd) 58
5.7 捷佳偉創(chuàng)(管式pecvd) 60
5.8 賽瑞達(管式pecvd) 62

第六章 pecvd項目可行性分析 64
6.1 pecvd項目機會風(fēng)險分析 64
6.2 100管管式pecvd項目可行性分析 65

第七章 pecvd產(chǎn)業(yè)研究總結(jié) 66

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