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光刻機就是利用紫外線通過模版去除晶圓表面的保護膜的設(shè)備。一片晶圓可以制作數(shù)十個集成電路,根據(jù)模版光刻機分為兩種:模版和晶圓大小一樣 激光加工,模版不動。模版和集成電路大小一樣 激光加工,模版隨光刻機-部分移動。其中模版隨光刻機移動的方式 手機激光加工,模版相對光刻機中心位置不變,始終利用-鏡頭中心部分能得到更高的精度。成為目前的主流。
目前 激光加工,-科大超精密工程-團隊已經(jīng)研發(fā)出兩大類7個型號的磁流變和離子束拋光機床。他們用離子光束和粘性的液體替代了傳統(tǒng)車床的車刀,用全新的加工機理實現(xiàn)了超精密加工設(shè)備和工藝的突破,不僅能夠縮短碳化硅鏡片的制造周期還能提-。
固態(tài)激光源是目前正在開發(fā)的一個重要的激光應(yīng)用領(lǐng)域,是當(dāng)前分析儀器發(fā)展的重要方向之一。它在提高科學(xué)儀器的空間分辨率、時間分辨率、能量分辨率方面起到重要作用。此光源的開發(fā)將--動各種光電子能譜儀、激光光譜儀、激光拉曼光譜儀等高技術(shù)領(lǐng)域和-儀器制造業(yè)的發(fā)展。
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