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刻蝕和清洗
研磨后，進入刻蝕和清洗工藝，使用-、-和-的混合物以減輕磨片過程中產(chǎn)生的損傷和裂紋。關(guān)鍵的倒角工藝是要將晶圓片的邊緣磨圓，-將來電路制作過程中破損的可能性。倒角后，要按照終用戶的要求，經(jīng)常需要對邊緣進行拋光，提高整體清潔度以進一步減少破損。
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