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下面來分析一下渦輪分子泵結(jié)構(gòu)兩邊的傳輸幾率差異是如何形成的。
渦輪分子泵的-是由許多動輪和靜輪依次相間串接而成的抽氣組合。所謂動輪為一圓盤的外緣上有一圈傾斜的葉片，葉片傾斜的角度以及葉片長度與葉片間距的比值即空弦比決定了該動輪的形狀。為了便于分析，可以把圓周-布的葉片展開成一條長形的葉列，當(dāng)葉列沿著自身方向以v高速運(yùn)動時，其和動輪以v的線速度高速旋轉(zhuǎn)的物理狀態(tài)是相同的。先看一種特殊的情況 全新leyss 分子泵，如葉片垂直水平面，而兩邊的氣體處于平衡態(tài)，即如圖5的左邊所示，由于平衡態(tài)氣

體分子的運(yùn)動高度對稱 leyss 分子泵，所以平均地講可以用圖5右邊所示的箭頭表示葉片兩邊的氣體的平均速度。

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多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、-）的能力很強(qiáng)。因而它非常適于真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，-質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴(kuò)散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標(biāo)準(zhǔn)的未加保護(hù)的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內(nèi)積存。因而它適于氣體負(fù)荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。

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