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前級管道設(shè)安全閥 :
如果不采用一個(gè)操作合理的前級管道安全閥,就有可能即污染渦輪分子泵又污染真空室。當(dāng)前級泵斷電停車時(shí),前級泵就會(huì)給自己充氣反向通到渦輪分子泵的排氣口。這種前級泵充氣會(huì)輸送前級管道返流的泵油,之后通過渦輪分子泵進(jìn)入真空室,這種現(xiàn)象稱為油污染,被污染后渦輪分子泵的葉片就必須在廠家的指導(dǎo)下用氟利昂來清洗。
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