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任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。 (1) 設備費用高   在抽速大于1000 l/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很-的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統(tǒng)需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等 普發(fā)分子泵，總的花費來計算 普發(fā)分子泵供應商，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。



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