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目前雖然有人在理論上從泵的有害空間、氣密性、-壓強(qiáng)、抽氣速率和壽命等方面分析后,認(rèn)為滑閥式好,定片式次之,但是尚未提供有力的證據(jù)。機(jī)城真空泵目-般已能達(dá)到5x1一5x1-1毫米柱左右,再高的真空度要求,單單靠一個(gè)機(jī)械泵是滿足不了的,還必須采用擴(kuò)散泵(當(dāng)真空度要求達(dá)1-6~1-7毫米柱以上時(shí),還需加用其他真空獲得的部件)來(lái)繼續(xù)完成機(jī)械泵所不能達(dá)到的真空度給出了旋片式真空泵之一的結(jié)構(gòu):產(chǎn)品結(jié)構(gòu)及工作原理:在缸體內(nèi),轉(zhuǎn)子是通過(guò)端蓋的偏心孔安裝固定的,緊靠左部幾乎與缸體腔壁接觸。
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