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晶圓清洗設(shè)備、芯片刻蝕

晶圓清洗設(shè)備、芯片刻蝕

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蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司為您提供晶圓清洗設(shè)備、芯片刻蝕。適應(yīng)工件:2~8寸晶圓片清洗
批量產(chǎn)能:8寸25PCS/批
工藝流程:Cu蝕銅***-QDR***QDR←QDR-Ti刻蝕
工藝槽功能:循環(huán)過(guò)濾+加熱冷卻+上下抖動(dòng)+花籃提升
主要材料:金屬骨架+PVC/PPW殼板,槽體采用PPN/PVDF材質(zhì)
運(yùn)送方式:手動(dòng)傳送
節(jié)拍時(shí)間:5-15min可調(diào)

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