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當(dāng)渦輪分子泵關(guān)閉或運轉(zhuǎn)極慢時 磁懸浮復(fù)合型分子泵，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內(nèi)壓力梯度）來阻止前級側(cè)存在的碳?xì)浠�合物通過渦輪葉片向真空室進(jìn)行返流。這種現(xiàn)象稱作反擴散或分子返流。在靜態(tài)條件下，整個系統(tǒng)的壓力均衡時 維修磁懸浮分子泵公司，在前級管道側(cè)， 油的分壓力通常為10- 4 ～10- 6 torr （ 或13.33mpa～133.3 pa）-也會波及到泵的入口處。當(dāng)泵關(guān)閉時 磁懸浮分子泵供應(yīng)廠家，適當(dāng)?shù)亟o泵內(nèi)充氣是控制油分子返流，保持真空室內(nèi)無碳?xì)浠�合物的一種有效的措施。

雖然在泵斷開電源后就應(yīng)給泵充氣已被大家所接受，且很平常，但是，渦輪分子泵在切斷電源后，泵要漸漸地減速，若-幾秒或幾分鐘再充氣會-一些。在泵減速到它平時速度的30%～50%期間，此時泵仍能起到抽氣和壓縮作用。能有效地使真空室處在真空狀態(tài)下且能防止碳?xì)浠�合物的返流�?

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