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在早期隨著掃描顯微鏡的發(fā)明和使用,人類認(rèn)識(shí)和改造的能力納米尺度,納米技術(shù)是指實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度,是一種在納米尺度上研究原子和分子結(jié)構(gòu),特性及相互作用與運(yùn)動(dòng),并運(yùn)用這種技術(shù)為人類服務(wù)的-,納米技術(shù)對(duì)制造業(yè)產(chǎn)生了很大的影響,其應(yīng)用范圍將非常廣泛,包括納米材料技術(shù)、納米加工技術(shù)、納米裝配技術(shù)和納米測(cè)量技術(shù)等。超精密加工的加工精度在2000年已達(dá)到納米級(jí),在21世紀(jì)初的分子束生長(zhǎng)技術(shù)、離子注入技術(shù)和材料合成、掃描工程(ste)可使加工精度達(dá)到0.0003~0.0001μm,現(xiàn)在精密工程正向其目標(biāo)——原子級(jí)精度的加工逼近,也就是說(shuō),可以做到原子級(jí)別的加工。
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