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真空泵選型重要的就是泵類型的確定,泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定,泵工作時,需要注意以下兩個方面:
1、盡可能要求在-區(qū)內(nèi),也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行。
2、應(yīng)避免在-真空度或-排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行,不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,干式真空泵維修,易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,在此區(qū)域之內(nèi)運行,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,干式真空泵保養(yǎng),產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作。
干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微;烊氡糜椭校墒秸婵毡眯吞枺M⒘E懦霰猛,干式真空泵,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止-造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
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