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了解被抽氣體的成分,被抽氣體中含不含可凝氣體,含不含水蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,干式真空泵保養(yǎng),需要明確知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的真空泵。
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,干式真空泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
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