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復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，福州彩鋼板，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ulsi制程大都采用此種型式。

但在一個操作間，機器以及機器周圍走動的人員，福州彩鋼板安裝，會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流，從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中，由于風速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得污染濃度較高。因此，必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的范圍里，以便使中斷的單向流能快速恢復，福州彩鋼板批發(fā)，充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風速可以正確地表示出單向流，因為風速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān)，如吊頂?shù)母叩�，因此不適合用來表示單向流。單向流室內(nèi)的送風量是紊流室的很多倍（10到100倍）。

a.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行控制;b.布置靈活。自帶冷源;c.大小廠房、新舊廠房都適用;d.維修頻率較低;e.車間噪音低。缺點：a.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;b.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;

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